Единый тарифно-квалификационный справочник работ и профессий рабочих (ЕТКС). Выпуск №20
Утвержден Постановлением Минтруда РФ от 21.01.2000 N 5
(в редакции Постановления Минтруда РФ от 12.09.2001 N 67)
| Оператор вакуумно-напылительных процессов |
Оператор диффузионных процессов
§ 15. Оператор диффузионных процессов 2-го разряда
Характеристика работ. Ведение процессов диффузии примесей (бора, фосфора) в кремний и создание защитных покрытий химико-термическим методом (под руководством рабочего высшей квалификации). Окисление пластин кремния в потоке газов и паров воды. Загрузка и выгрузка пластин кремния. Измерение температуры рабочей зоны установки и наблюдение за другими режимами с помощью контрольно-измерительных приборов и термопар. Изготовление шлифов на пластинах кремния и определение по ним глубины диффузии. Вжигание металлизированных контактов (алюминий, золото) в кремний. Взвешивание диффузанта и его загрузка.
Должен знать: наименование, назначение важнейших частей и принцип действия установок для проведения процессов окисления; назначение и условия применения контрольно-измерительных приборов, ротаметров, контактных термометров; методы определения толщины окислов по интерференционным полосам в сравнении с таблицей; основные свойства полупроводниковых материалов (германий, кремний) и материалов, применяемых для легирования (бор, фосфор и их соединения); основы теории получения р-п переходов (диодов и триодов); принцип действия установок измерения удельного сопротивления четырехзондовым методом.
Примеры работ
1. Пластины кремния, германия - термообработка перед фотолитографией.
2. Пленки окисные - получение методом контролируемого низкотемпературного окисления моносилана кислородом в среде инертного газа.
3. Подложки - насыщение бором.
§ 16. Оператор диффузионных процессов 3-го разряда
Характеристика работ. Ведение процессов окисления, диффузии примесей в один из видов полупроводникового материала на налаженном оборудовании определенного типа. Измерение толщины окисла и дрейфовой области кремниевых пластин. Изготовление косых и сферических шлифов, выявление переходов, измерение глубины р-п перехода поверхностного сопротивления и концентрации примесей. Контроль режима диффузионного процесса. Загрузка и выгрузка пластин с помощью автоматического загрузчика. Контроль качества пластин после диффузии и окисления. Комплектация (формирование) партий эпитаксиальных структур.
Должен знать: устройство и способы подналадки обслуживаемых оборудования и установок; методы измерения температуры в рабочей зоне установки; степени осушки газа; свойства газов, применяемых материалов; основные законы электротехники и вакуумной техники в пределах выполняемых работ; влияние различных факторов на параметры диффузионных слоев; устройство приборов для контроля процесса; методы измерения поверхностного сопротивления; методы контроля толщины дрейфовой области.
Примеры работ
1. Диффузия золота.
2. Стекло боросиликатное - диффузия бора.
3. Стекла растворимые - диффузия сурьмы.
4. Структуры кремниевые - геттерирование с помощью пленки SiO2 с одновременной диффузией никеля.
§ 17. Оператор диффузионных процессов 4-го разряда
Характеристика работ. Окисление и диффузия примесей в германий, кремний и арсенид галлия с применением твердых, жидких и газообразных диффузантов. Отжиг ионно-легированных слоев. Ведение процесса дрейфа ионов лития в пластины кремния. Одновременное проведение двух процессов окисления или диффузии. Дозирование легирующих элементов. Подготовка газораспределительного пульта к работе. Сборка и наладка отдельных узлов газовой системы (определение точки росы и содержания кислорода в технологических газах). Наблюдение за температурой и другими режимами и регулирование их. Определение неисправностей в работе оборудования. Измерение электрических параметров р-п переходов, резисторов и характеристик микросхем.
Должен знать: устройство установок с высокочастотным нагревом, установок дрейфа, водородной, вакуумной и силитовых печей; устройство, назначение и условия применения контрольно-измерительных приборов (термопар, гальванометров, осциллографов, вакуумметров и др.); методы измерения температурного профиля диффузионной печи; основные свойства полупроводниковых материалов (германий, арсенид галлия, кремний); свойства газов (водород, азот, кислород); основные свойства диффузантов; режимы процесса; способы и методы контроля; элементарный расчет параметров диффузионных слоев; основные свойства оксидных пленок, р-п, п-п переходов; методы их получения и контроля.
Примеры работ
1. Диффузия мышьяка, сурьмы.
2. Диффузия фосфора из треххлористого фосфора, оксихлорена и из легированных пленок.
3. Диффузия бора из нитрида бора и трибромида бора.
4. Диффузия бора и золота, фосфора и золота (одновременное проведение процесса).
5. Кремний - окисление в парах HCl.
6. Пластины кремния - термическое окисление в печах типа СДО 125/3-12.
§ 18. Оператор диффузионных процессов 5-го разряда
Характеристика работ. Ведение сложных процессов диффузии и окисления в диффузионных печах различных типов (в том числе с программным управлением) с применением твердых, жидких и газообразных диффузантов. Составление программ проведения процесса. Введение легирующих присадок в кремний, германий, арсенид галлия. Обслуживание печей непрерывного действия, водородной, вакуумной установок. Измерение электропараметров БИС, СБИС и транзисторных структур. Проведение элементарного расчета параметров диффузионных слоев. Анализ экспериментальных данных по результатам измерений параметров диффузионных слоев, окисных пленок. Контроль и корректировка режимов технологических процессов диффузии, окисления, отжига ионно-легированных слоев. Сборка, вакуумирование и отпайка кварцевых ампул с мышьяком, сурьмой, бором и их соединениями в качестве лигатуры. Сборка газовой системы и проверка ее герметичности. Определение неисправностей в работе оборудования и их устранение.
Должен знать: электрические и газовые схемы обслуживаемого оборудования, правила его наладки на заданный режим; правила настройки и регулирования приборов для контроля процесса; очистительную систему для газов, поступающих в установку; правила определения режимов работы; влияние характеристик диффузионных слоев на параметры получаемых приборов.
Требуется среднее профессиональное образование.
Примеры работ
1. Диффузия цинка в парах мышьяка или фосфора в тройные соединения.
2. Пластины кремния - диффузия бора, фосфора, мышьяка в печах с программным управлением типа СДО-125/3-15.
3. Пластины кремния - окисление при повышенном давлении; создание скрытых слоев; легирование сурьмой и мышьяком в печах с программным управлением.
4. Пластины кремния - создание подзатворного диэлектрика и контроль его параметров.
§ 19. Оператор диффузионных процессов 6-го разряда
Характеристика работ. Ведение сложных процессов диффузии, окисления с применением твердых, жидких и газообразных диффузантов. Обслуживание печей и установок любого типа, в т.ч. и с программным управлением. Обработка экспериментальных данных, построение графиков, таблиц по статистическим данным. Проведение расчета концентрационного профиля, поверхностной концентрации, типа проводимости слоев. Самостоятельное задание режимов, самостоятельная работа на полярископе и лазерном элипсометре, определение плотности поверхностных состояний по вольт-емкостным характеристикам при изготовлении канальных БИС. Расчет и экспериментальное определение профиля распределения примеси. Работы на автоматических диффузионных установках - налаживание, корректировка режимов в процессе работы и контроль.
Должен знать: конструкцию, способы и правила проверки на точность оборудования и устройств различных типов для проведения процесса диффузии; теорию процессов диффузии и окисления; влияние различных параметров на характеристики диффузионных слоев; способы и методы определения годности переходов; физико-химические свойства применяемых материалов; расчеты, связанные с проведением процессов диффузии.
Требуется среднее профессиональное образование.
§ 20. Оператор диффузионных процессов 7-го разряда
Характеристика работ. Ведение сложных высокотемпературных процессов диффузии на оборудовании и оборудовании с микропроцессорным программным управлением с применением различных типов диффузантов. Ведение процесса окисления кремниевых пластин пирогенным способом. Расчет необходимых пропорций кислорода и водорода в их смеси. Одновременное проведение трех процессов окисления или диффузии. Выбор способа формирования диэлектрика в зависимости от назначения и требований нему. Получение р-п переходов и контроль их вольт-амперных характеристик на измерителе Л2-56. Сбор и обработка информации с помощью компьютера. Анализ причин возникновения брака на операциях высокотемпературных обработок и принятие мер по его устранению.
Должен знать: устройство и принцип работы обслуживаемого оборудования; назначение и условия применения контрольно-измерительного оборудования (спектрофотометры MPVSD, "Suzfscan", ЛЭФ-3М); назначение окисных пленок и диффузионных слоев и требования к ним; факторы, определяющие скорость роста окислов; механизмы диффузии в полупроводниках; виды брака на термодиффузионных операциях, причины его возникновения и способы устранения; способы получения р-п переходов и методы определения их годности.
Требуется среднее профессиональное образование.
Примеры работ
1. Изолирующий окисел - пирогенное окисление.
2. Диффузия фосфора в поликремний - легирование затвора.
| Оператор вакуумно-напылительных процессов |